Grunnurinn og lykillinn að því að átta sig á rafsameiningu er ennþá ljóseining.
(1) InP-byggð ljóseiningartækni
Optísk rafmagnstækjatækni er tiltölulega þroskuð og samþætting sjóntækis með mismunandi aðgerðum er hægt að átta sig með því að breyta hljómsveitaruppbyggingu skammtabrunnanna á ákveðinn hátt á undirlagi InP efnisins. Sem stendur nær efnisvöxtartækni sem breytir orkubandbyggingu skammtabrunnanna aðallega skammtabrunnatækni, rassvöxtartækni, sömu virku svæðisaðferðina og valið svæði epitaxy tækni. Til þess að fá afkastamiklar ljóseindisflís með lágmarki en lágmarka kostnað er hægt að blanda þessari tækni saman. Meðal þeirra notuðu Guo Weihua frá Huazhong vísinda- og tækniháskólanum og aðrir skammtatengda tvinntækni til að átta sig á ljóseiningum á flísum með aðgerðalausum og virkum sjónrænum tækjum og bjuggu til InP-byggða einhliða samþætta sjónáfanga. Einhliða ljóseindir samlaga hringrásin samþættir leysi, geislaskiptingu, fasaskipta, hálfleiðara sjónmagnara, skynjara og aðra íhluti til að átta sig á skönnun á 5 ° × 10 ° tvívíðu geislabendingu.
(2) Kísillótónísk samþætting
Skipta má um kísilfótónískan samþættingu í einhliða samþættingu og blendinga samþættingu í samræmi við efni og framleiðsluferli. Kísil photonic monolithic samþætting er notkun Si CMOS framleiðslutækni á sömu kísilplötu til að samþætta mörg sílikon-byggð ljósabúnað með sömu eða mismunandi aðgerðir til að átta sig á sendingu og vinnslu eins eða fleiri ljósmerkja á sömu flís. Hins vegar hafa sum virk kísil-rafeindatæki (sérstaklega kísil-undirstaða leysir) ekki enn náð bestu afköstum vegna eiginleika efnanna sjálfra og blendingur samþættingartækni hefur verið framleidd.
Blendingur samþættir samþættir venjulega sjónaftækjabúnað með mismunandi aðgerðum sem samanstanda af mismunandi efniskerfum á sílikon undirlagi eða með tengingu, samtengingu eða tengingu á önnur undirlag. Meðal þeirra eru margar tæknilegar aðferðir til að samþætta kísil ljóseindir blendinga, þar á meðal bein tengingartengingu, lóðrétt tengi með grind og límtengingu BCB. Nokkrar samþættingaraðferðir hafa sína kosti og galla. Meðal þeirra notuðu G. Roelkens og aðrir frá Ghent háskólanum í Belgíu sérstakt ráðhúslím (DVS-BCB) til að átta sig á III-V hópbúnaðinum til að átta sig á ólíkri samþættingu við III-V sjónaftæki á SOI sjónbylgjuljósinu. . Próf sýna að þykkt BCB límsins milli efri og neðri flísanna er aðeins um 45 nm og það getur tryggt nákvæmni tengibúnaðarins og stöðugleika samþættingarferlisins.
(3) Optoelectronic samþætting
Stöðug þróun á ljóseiningartækni gerir stórfellda sjónræna samþættingartækni mögulega. Þróunarþróun sjónrænnar samþættingar tækni felur aðallega í sér eftirfarandi þrjá þætti: Í fyrsta lagi háhraði og mikil afköst (lágmark hávaði, mikil bandbreidd, stórt hreyfibreyt), sem getur mætt þörfum notenda fyrir háhraða gagnaflutninga; í öðru lagi, stórfellda fylkingarsamþættingu, sem getur mætt þörfinni á burðarnetinu' sú þriðja er margþætt merkivinnsla, sem samþættir flóknar merkivinnsluaðgerðir eins og myndun bylgjulaga, gagnamat, endurheimt klukku, stjórnun breiðbands, rásareftirlit og örbylgjuofn merkjasmíð / sending / uppgötvun. Lykiltækni sjónrænnar samþættingar er tvímælalaust samþættingartækni ljóseindrænna samþættra tækja og háhraða örsnyrtibúnaðar. Í ljósi þess hversu flókin sjónrænt samþættingartækni er, eru heildarhugmyndir sjónrænna samþættingartækni sem eru aðallega samþykktar heima og erlendis tiltölulega stöðugar. Þeir tileinka sér allir tiltölulega sjálfstæða samþættingu ljóssins og rafræna lagsins. Ljósmerki og rafmerki eru send sjálfstætt eða lagskipt. Raf samtenging rafmerkja verður að veruleika með ólíkri eða ólíkri samtengingartækni milli laga. Fotonic lagið er svipað og tengd tækni í photonic samþættingu. Rafræna lagið notar venjulega venjulega kísil CMOS tækni og aðeins efni sem byggir á kísli getur náð stórfelldri og ódýrri framleiðslu á VLSI. Samkvæmt tegundum og útfærsluaðferðum ljósleiðaratækja sem notuð eru til samþættingar er hægt að skipta sjónrænum samþættingu í einlitan sjónrænt samþættingu og tvinnaðan sjónrænt samþættingu. Sú fyrrnefnda er að átta sig á undirbúningi og samþættingu sjón- og rafbúnaðar á al-sílikon undirlagi, og hið síðarnefnda er framkvæmt á sílikon-undirlagi í gegnum sílikon um (TSV) eða aðra þrívíða ólíka / ólíka samþættingartækni. mörg önnur sjóntæki.
